Infra-estrutura básica para melhoramento das condições da sala limpa do grupo de semicondutores do IFSC

• Processo: 98/09224-7
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Programa Infraestrutura - Gerais
• Data de Início da vigência: 01 de novembro de 1998
• Data de Término da vigência: 31 de outubro de 1999
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física
• Pesquisador responsável: Euclydes Marega Junior
• Beneficiário: Euclydes Marega Junior
• Instituição Sede: Instituto de Física de São Carlos (IFSC). Universidade de São Paulo (USP). São Carlos , SP, Brasil
• Assunto(s): Modernização Projetos de infraestrutura Infraestrutura de pesquisa Recursos para a pesquisa Infraestrutura

Resumo

O projeto de infra-estrutura visa a manutenção da sala limpa classe 1000 do laboratório de nano-fabricação do Grupo de Física dos Semicondutores. O laboratório de nanofabricação tem como objetivo principal o processamento litográfico de heteroestruturas obtidas através da técnica de crescimento epitaxial (MBE), essencial para as pesquisas realizadas atualmente. Este projeto resume-se basicamente: I) melhora do sistema de controle da temperatura e umidade; II) melhora do sistema de purificação de água; III) monitoramento das condições de contaminação da sala limpa. (AU)