Emission spectroscopy with high spatial resolution for study of sputtering in reactive plasmas.

• Processo: 96/09621-0
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Exterior
• Data de Início da vigência: 21 de janeiro de 1997
• Data de Término da vigência: 24 de janeiro de 1997
• Área do conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas
• Pesquisador responsável: Stanislav Moshkalev
• Beneficiário: Stanislav Moshkalev
• Instituição Sede: Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW). Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Campinas , SP, Brasil
• Assunto(s): Pulverização catódica
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Emission Spectra | Reactive Plasmas | Secondary Photon Emission | Semiconductor Processing | Sputtering