Implemetation of an optical integrated pressure sensor and experimental results.

• Processo: 02/06049-7
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Reunião - Brasil
• Data de Início da vigência: 09 de setembro de 2002
• Data de Término da vigência: 14 de setembro de 2002
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Nilton Itiro Morimoto
• Beneficiário: Nilton Itiro Morimoto
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Sistemas microeletromecânicos
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Mems | Optical Pressure Sensor | Silicon Membrance