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Projeto e construção de um analisador eletrostático de energia e estudo de sua aplicação em plasmas polimerizantes

Processo: 09/06160-4
Modalidade de apoio:Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
Data de Início da vigência: 01 de maio de 2009
Data de Término da vigência: 31 de julho de 2012
Área de conhecimento:Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas
Pesquisador responsável:Roberto Yzumi Honda
Beneficiário:Luciano Jeffery
Instituição Sede: Faculdade de Engenharia (FEG). Universidade Estadual Paulista (UNESP). Campus de Guaratinguetá. Guaratinguetá , SP, Brasil
Assunto(s):Filmes finos   Tratamento de superfícies   Cinética química   Plasma (estados da matéria)
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:copo de Faraday | diagnóstico de plasmas | plasma | Polimeros a plasma | Diagnóstico de plasmas

Resumo

Neste projeto propõe se a construção de um analisador de energia e a sua implementação em diagnóstico de plasma, em reatores destinados à produção de filmes finos e tratamento de superfícies via plasma. A cinética química do processo de polimerização é fortemente comandada pelo perfil da distribuição de energia dos elétrons, pois os processos de dissociação, fragmentação, ionização e excitação das moléculas ocorrem preferencialmente via colisão com elétrons, devido à sua alta mobilidade. Muitos experimentos para o estudo da propagação e excitação de ondas em plasma onde é importante o estudo das propriedades e propagação das perturbações na densidade do plasma têm sido implementados. O método para a obtenção dos perfis de energia nesses experimentos é a utilização de um analisador eletrostático de energia, multi-grades. Portanto a relevância do conhecimento deste importante parâmetro torna-se óbvia. (AU)

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