Caracterização de estruturas metal-óxido-semicondutor com dielétricos de SOG (Spin-On-Glass)

• Processo: 92/02327-9
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de agosto de 1992
• Data de Término da vigência: 31 de julho de 1993
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Luiz Sérgio Zasnicoff
• Beneficiário: Marco Antonio Albamonte Arruda
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Capacitores Dielétricos Vidro de spin Transistores MOSFET
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Capacitores Mos | Dieletricos Intermetalicos | Planarizacao | Spin-On-Glass