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Estudo fundamental dos mecanismos de crescimento de diamante-CVD com a adição de cloro na mistura precursora

Processo: 95/00175-5
Modalidade de apoio:Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
Data de Início da vigência: 01 de abril de 1995
Data de Término da vigência: 31 de março de 1997
Área de conhecimento:Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Materiais Não-metálicos
Pesquisador responsável:Vladimir Jesus Trava-Airoldi
Beneficiário:Ticiane Sanches Valera
Instituição Sede: Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE). Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
Assunto(s):Reações químicas   Crescimento de cristais   Filmes finos   Polimento   Diamantes CVD   Cloro
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:Crescimento De Cristais | Diamante-Cdv | Filamento Quente | Filmes Finos | Polimento | Reacoes Quimicas

Resumo

O presente projeto visa estudar, do ponto de vista fundamental, o mecanismo de crescimento de diamante-CVD, quando é introduzido o gás cloro como um componente adicional à mistura de hidrogênio e metano. Os átomos de cloro serão extraídos do composto CC14 após passar pela região de ativação. Devido diferente de energias de ligarão, é esperado que o cloro contribua para o aumento de hidrogênio atômico, o que aumentará, também, a eficiência de crescimento do filma de assistida por filamento quente. (AU)

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