Desenvolvimento de processos de corrosão por plasma para fabricação de elementos ópticos difrativos

• Processo: 03/08887-2
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Iniciação Científica
• Data de Início da vigência: 01 de dezembro de 2003
• Data de Término da vigência: 30 de novembro de 2004
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Patrick Bernard Verdonck
• Beneficiário: Adriano Carvalho Ferreira
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Corrosão Plasma (microeletrônica)
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Elemento Optico Difrativo | Microestruturas | Plasma | Silica

Resumo

O projeto consiste em desenvolver processos de corrosão por plasma para a fabricação de elementos ópticos difrativos. Serão desenvolvidos processos de corrosão de filmes de carbono amorfo hidrogenado e de sílica fundida, utilizando plasma tipo "Reactive Ion Etching" respectivamente com O2 e com CF4 puro. Esses processos serão caracterizados, determinando taxas de corrosão, uniformidade, reprodutibilidade, nível de rugosidade induzida, etc. Posteriormente, análises ópticas dos elementos ópticos difrativos, fabricados com estes processos serão feitas. (AU)