Caracterização de plasmas acoplados indutivamente com sondas eletrostáticas

• Processo: 96/09915-4
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 1997
• Data de Término da vigência: 31 de março de 1999
• Área de conhecimento: Ciências Exatas e da Terra - Física - Física dos Fluídos, Física de Plasmas e Descargas Elétricas
• Pesquisador responsável: Raul Murete de Castro
• Beneficiário: Raul Murete de Castro
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Corrosão Plasma (estados da matéria) Sonda
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Corrosao | Plasma | Sondas Eletrostaticas

Resumo

Neste trabalho estudaremos o plasma indutivo produzido em um reator de rádio freqüência, com a utilização de sondas eletrostáticas, para obter os parâmetros do plasma tais como temperatura dos elétrons, densidade do plasma e potencial flutuante. Compararemos os métodos de medida realizadas com três tipos de sondas: sonda simples, sonda dupla e sonda tripla, para propor o método de medida mais apropriado para as diferentes condições do plasma. (AU)