Caracterização e controle de plasmas por modulação de um feixe de elétrons para aplicações em microeletrônica e micromecânica

• Processo: 98/04076-0
• Modalidade de apoio: Bolsas no Exterior - Pesquisa
• Data de Início da vigência: 18 de agosto de 1999
• Data de Término da vigência: 17 de agosto de 2000
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
• Pesquisador responsável: Patrick Bernard Verdonck
• Beneficiário: Patrick Bernard Verdonck
• Pesquisador Anfitrião: Nicholas St. John Braithwaite
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Instituição Anfitriã: Open University, Inglaterra
• Assunto(s): Tecnologia de feixe de elétrons Microeletrônica Plasma (estados da matéria) Caracterização estrutural Corrosão
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Caracterizacao | Corrosao | Feixe De Eletrons | Microeletronica | Micromecanica | Plasma

Resumo

As características (energia e densidade de elétrons e íons, potenciais de plasma e de eletrodos) de um plasma frio podem ser modificado injetando elétrons com densidade e energia controladas. Desta maneira é possível caracterizar melhor plasmas capacitivamente e indutivamente acoplados, e modificar as características de processos de corrosão por plasma. Neste trabalho pretendemos fazer estes tipos de caracterizações de plasmas, utilizando sondas eletrostáticas e espectrometria de emissão, dos dois tipos de plasma mencionados. Também verificaremos como a injeção de um feixe de elétrons possa modificar a corrosão de silício por um plasma de SF6. (AU)