Projeto, construção e medidas com sonda de fluxo de íons

• Processo: 02/00230-1
• Modalidade de apoio: Bolsas no Brasil - Doutorado Direto
• Data de Início da vigência: 01 de abril de 2002
• Data de Término da vigência: 28 de fevereiro de 2006
• Área de conhecimento: Engenharias - Engenharia Elétrica - Medidas Elétricas, Magnéticas e Eletrônicas, Instrumentação
• Pesquisador responsável: Patrick Bernard Verdonck
• Beneficiário: Laura Swart
• Instituição Sede: Escola Politécnica (EP). Universidade de São Paulo (USP). São Paulo , SP, Brasil
• Assunto(s): Microeletrônica Plasma (microeletrônica)
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Caracterizacao | Corrosao | Microeletronica | Micromaquinas | Plasma | Sonda

Resumo

Dentro deste projeto pretendemos projetar e construir um sistema com uma sonda eletrostática para realizarmos principalmente medidas de fluxo de íons em plasma. Após a construção do sistema, serão determinados conjuntos de procedimentos para obter medidas significativas de fluxos de íons e temperaturas de elétrons. Inicialmente serão caracterizados plasmas de argônio. Depois serão investigados outros plasmas como oxigênio. No final do projeto pretendemos ter desenvolvida uma nova técnica de análise de plasmas e ter obtidos novos conhecimentos sobre plasmas. (AU)