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Secoes de choque diferencial elastica absoluta para o espalhamento de eletrons por moleculas poliatomicas de interesse para a industria de semicondutores.

Processo: 97/01225-1
Modalidade de apoio:Bolsas no Brasil - Doutorado
Data de Início da vigência: 01 de abril de 1997
Data de Término da vigência: 31 de março de 2001
Área de conhecimento:Ciências Exatas e da Terra - Física - Física Atômica e Molecular
Pesquisador responsável:Ione Iga
Beneficiário:Manoel Gustavo Petrucelli Homem
Instituição Sede: Centro de Ciências Exatas e de Tecnologia (CCET). Universidade Federal de São Carlos (UFSCAR). São Carlos , SP, Brasil
Assunto(s):Moléculas poliatômicas
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:Espalhamento Eletrons | Moleculas Poliatomicas | Secoes De Choque Absolutas

Resumo

O projeto visa medir seções de choque diferencial elástica absoluta (SCDEA) para faixa de energias de impacto de 20 a 800cV, para os gases CF4, CHF3 e SFc, que são de interesse para a indústria de semicondultores e setor elétrica. Serão efetuados estudos para o estabelecimento de padrões secundários, na técnica de fluxo relativo gases pesados e também para espécies polares. (AU)

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