Resumo
Os transdutores de pressão baseados em microssensores de silício já são uma realidade tecnológica e constituem uma verdadeira revolução para diferentes segmentos industriais, como o automotivo, médico, biomédico, de controle etc. O componente principal do transdutor é um microssensor de pressão de silício, cujo design e fabricação dependem de sua aplicação. É impossível desenvolver vários…