Resumo
Atualmente, uma série de trabalhos reportados na literatura mundial apontam a tecnologia Silício-sobre-Isolante (Silicon-On-Insulator - SOI) como uma importante substituta da tecnologia MOS convencional na fabricação de transistores com comprimento de canal reduzido, constituindo uma importante alternativa para sustentar a contínua redução das dimensões enfrentada pela tecnologia CMOS. A …