Resumo
O objetivo deste projeto é o desenvolvimento dos processos de fabricação e o estudo do comportamento físico de microdispositivos de emissão de campo a vácuo. Dentre os microdispositivos que pretendemos fabricar estão os "arrays" de ponteiras de emissão de campo, microdiodos e microtriodos. O projeto pode ser dividido em três partes: 1) estudo e desenvolvimento dos processos de corrosão (ú…