Resumo
Nesse trabalho estuda-se os sensores de gases baseados em filmes finos de óxidos de metálicos porosos. Os sensores de gases de dióxido de estanho são depositados em duas etapas: obtenção do silício poroso (célula eletroquímica) e deposição do filme fino de dióxido de estanho (deposição por vapor químico). Para uma mesma dimensão, os sensores de gases com filmes fino de dióxido de estanho …