Resumo
Propõe-se o projeto, microfabricação e caracterização de um defletor de luz de silício acionado por indução eletromagnética, em cujo rotor, suspenso por barras de torção, haverá um espelho de 4x4mm2 e uma bobina, e em cujo encapsulamento haverá um circuito magnético gerador de campos magnéticos pulsantes ou oscilantes. O dispositivo deverá apresentar ângulo de deflexão do espelho de pelo …