Resumo
Neste trabalho será estudado o crescimento de diamante, por técnicas de deposição química a partir da fase vapor (CVD), sobre ferramentas de usinagem de nitreto de silício. O objetivo principal é obter alta aderência dos filmes de diamante para poder suportar os esforços gerados durante os processos de usinagem. Esta aderência depende fortemente da interação da fase gasosa do ambiente de …