Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação (FEEC) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
Gabriel Figueiredo Martins Bonilha em auxílios à pesquisa e bolsas apoiadas pela FAPESP.
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A fabricação de dispositivos semicondutores para microeletrônica, optoeletrônica e micromecânica requer a definição de padrões geométricos com grande precisão. Esta etapa pode ser feita através de litografia óptica (ou fotogravação) utilizando uma máscara, ou diretamente no substrato, utilizando-se a técnica de litografia por feixe de elétrons. Para à fotogravação, é necessária a confecçã…
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