Resumo
Neste trabalho serão investigados os possíveis mecanismos pelos quais partículas dos mais diversos tamanhos podem aderir em superfícies de lâminas de silício e que mais tarde possam desencadear falhas elétricas fatais em dispositivos MOS. Técnicas de caracterização envolvendo espalhamento superficial de luz LASER e microscopia de força atômica (AFM: Atomic Force Microscopy) serão empregad…