Resumo
É proposta a construção de um reator de crescimento de diamante-CVD com ativação por halogênio. Vão ser feitos estudos paramétricos e de caracterização para otimização do crescimento neste reator. Serão feitos estudos da cinética química da fase gasosa no reator, com medidas das frações molares de espécies estáveis e radicais por espectrometria de massa e, também, com um modelamento do pr…