Resumo
O projeto propõe o desenvolvimento e estudo de filmes finos para aplicações em micro-baterias de lítio ou íon-lítio. Pretende-se depositar pela técnica de sputtering r.f. filmes finos de MeOx e LiyMeOx (Me=Co ou Ni), partindo do alvo metálico ou do alvo já litiado, a serem preparados no âmbito deste projeto. As condições de deposição como pressão de trabalho, fluxo de gases e temperatura …