Resumo
A tecnologia microeletrônica baseada em silício encontra-se ameaçada de estagnação devido ao esgotamento de filmes ultrafinos de óxido de silício como isolantes elétricos. Dielétricos alternativos vêm sendo intensamente estudados. A espectroscopia de fotoelétrons com raios-X (XPS) é uma técnica única por permitir a caracterização química desses materiais em escala atômica. Nosso objetivo …