Resumo
Neste trabalho serão desenvolvidos estudos sobre corrosão por plasma (plasma etching) com o objetivo de aperfeiçoar a aplicação de feixe de plasmas para a corrosão de materiais eletrônicos. Uma nova modalidade de reator no qual um feixe de plasmas é gerado em alto vácuo será implementada para proceder à corrosão dos materiais. O princípio de sua aplicação como reator de corrosão já foi de…