CV Lattes
Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
Possui graduação em Materiais Processos e Componentes Eletrônicos pela Universidade Estadual Paulista Júlio de Mesquita Filho (1998). Mestrado em Engenharia Elétrica pela Universidade de São Paulo (2001). Doutorado em Engenharia Elétrica pela Universidade de São Paulo (2006). Atualmente colabora como pesquisador convidado no laboratório de sistemas integráveis (LSI ), na área de plasmas e novos materiais pela Escola Politécnica da Universidade de São Paulo. Ministra disciplinas nas áreas de eletrônica, Microprocessadores e Eletricidade Aplicada na Faculdade de Tecnologia de Osasco, onde é coordenador do curso Superior Tecnologia de Automação Industrial. (Fonte: Currículo Lattes)
| Matéria(s) publicada(s) na Agência FAPESP sobre o(a) pesquisador(a) |
| Mais itensMenos itens |
| TITULO |
| Matéria(s) publicada(s) em Outras Mídias ( ): |
| Mais itensMenos itens |
| VEICULO: TITULO (DATA) |
| VEICULO: TITULO (DATA) |
Neste trabalho será estudado como o material do eletrodo de um sistema RIE altera as características físicas e químicas de plasmas e modifica os mecanismos da corrosão de silício realizada por plasmas de SF6. Temos conhecimento que com a variação do material de eletrodo ocorrem grandes variações nas corrosões por plasma. Esperamos determinar com mais precisão os mecanismos envolvidos que …
Na literatura foi mostrado que o material da máscara influencia o plasma e a corrosão de silício por plasma usando gases fluorados. Neste trabalho será feito um estudo como o material do eletrodo influencia diferentes características físicas e químicas de plasmas e a corrosão de silício realizado por plasmas de SF6. (AU)
| 2 | Bolsas no país concluídas |
| Processos vinculados | |