CV Lattes
Universidade de São Paulo (USP). Escola Politécnica (EP) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
Sólida trajetória em ensino, inovação, pesquisa e mercado. Ótimos impactos em sustentabilidade, eficiência e produtividade. (Fonte: Currículo Lattes)
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O objetivo do projeto é estudar a corrosão química de filmes de a-Si1-xCx:H obtidos pela técnica de PECVD ("Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition"). A motivação é viabilizar a fabricação de dispositivos semicondutores a base deste material, já que mesmo os dispositivos mais simples requerem técnicas de corrosão eficiente e seletiva do a-SiC:H para definir as geometrias requeridas. Em …
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