Resumo
Filmes finos policristalinos de elementos preferencialmente dos Grupos IV - B e I - B serão depositados usando-se Sputtering Magnetron RF e dc. A espessura dos filmes e sua composição serão determinadas com Espectroscopia de Retroespalhamento Rutherford (RBS) e sua textura com Difração de Raios - X (XRD). Estudaremos a morfologia de superfície dos filmes, em escala nanométrica, com Micros…