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Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Instituto de Física Gleb Wataghin (IFGW) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
Jianjun Wang em auxílios à pesquisa e bolsas apoiadas pela FAPESP.
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Este Plano de Trabalho consta de um estudo de filmes de nitreto de carbono cristalino depositados pelas técnicas combinadas de PECVD e filamento quente em misturas CH4-N2-H2 e CH4-NH3-H2. O sistema de deposição possibilita o aquecimento do substrato (400-900 ºC) e a sua polarização elétrica por meio de uma voltagem de radiofreqüência com "offset" dc negativo (0-600 V). Especial atenção se…
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