CV Lattes
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Centro de Componentes Semicondutores (CCS) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
Possui graduação em Física pela Universidade Estadual de Campinas (1992), mestrado em Física pelo Instituto de Física Gleb Wataghin (1995) e doutorado em Física pelo Instituto de Física Gleb Wataghin (1999). Atualmente é professor das Faculdades de Campinas (FACAMP). Tem experiência na área de Física, com ênfase em Estrutura de Líquidos e Sólidos; Cristalografia, atuando principalmente nos seguintes temas: semicondutores, caracterização, raios-x: difração, implantação iônica e junções rasas. (Fonte: Currículo Lattes)
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O aumento na performance e velocidade de dispositivos eletrônicos com integração em ultra-alta escala (ULSI) é obtida pela redução das suas dimensões. A fabricação de camadas dopadas finas (< 50 nm), com altas concentrações de dopantes eletricamente ativos é um grande desafio tecnológico. A necessidade de controlar essas propriedades dos perfis dopados dirigiu o estudo da implantação i…
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