Resumo
Propõe-se um estudo das propriedades térmicas de filmes de carbono amorfo hidrogenado em função de parâmetros de deposição. Estes filmes têm despertado interesse recentemente por suas diversas aplicações em metalurgia, microeletrônica e óptica. Os filmes a serem investigados seriam depositados por decomposição de metano assistida por plasma e recozidos a temperaturas entre 250 e 700ºC. A …