CV Lattes
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Centro de Componentes Semicondutores (CCS) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
Anna Paula da Silva Sotero em auxílios à pesquisa e bolsas apoiadas pela FAPESP.
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O presente projeto trata do desenvolvimento de processos de deposição de filmes finos e ultra-finos de óxido, oxinitreto e nitreto de silício em substratos semicondutores, com tecnologia RPCVD, RPO e RPN e sua caracterização, visando a otimização do processo e sua repetibilidade. Pretende-se desenvolver todo o potencial do sistema RP para o crescimento por oxidação (RPO), nitretação (RPN)…
| 1 | Bolsas no país concluídas |
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