Resumo
Dois tipos de descarga são utilizados no laboratório para a produção de plasma: descarga por rádio frequência (RF) e por descarga de capacitores o objetivo deste trabalho e a construção de um casador de impedâncias para otimizar as descargas por rádio frequência e de um sistema de controle de carga da tensão de capacitores para proporcionar sua repetitividade em processos de carregamento …