Resumo
Neste trabalho propomos verificar experimentalmente o comportamento de uma descarga de catodo oco plano a baixa pressão de gases reativos como Oxigênio, CF4, e Hidróxido de Potássio em função dos parâmetros de controle da descarga. O intuito é verificar o efeito destes parâmetros (pressão, gases, campo magnético e distância entre os eletrodos) sobre os parâmetros de plasma formado entre d…