Resumo
As técnicas de fabricação de microeletrônica têm sido utilizadas em outras áreas de aplicação, notadamente na fabricação de sensores, micromáquinas e elementos microópticos. Em particular, a aplicação dessas técnicas em microóptica tem possibilitado o desenvolvimento de elementos que encontram ampla utilização em comunicação óptica. Este trabalho visa estudar a etapa de litografia por fei…