Resumo
O projeto consiste em desenvolver processos de corrosão por plasma para a fabricação de elementos ópticos difrativos. Serão desenvolvidos processos de corrosão de filmes de carbono amorfo hidrogenado e de sílica fundida, utilizando plasma tipo "Reactive Ion Etching" respectivamente com O2 e com CF4 puro. Esses processos serão caracterizados, determinando taxas de corrosão, uniformidade, …