Resumo
Micro-scanners são dispositivos micro-eletro-mecânicos para deflexão de feixes de luz. Na modelagem desses dispositivos há em aberto a relação entre seu fator de amortecimento e a pressão atmosférica. Neste trabalho será feito um estudo experimental da influência da atmosfera na dinâmica dos micro-scanners, de maneira a se completar a modelagem desses dispositivos e se conseguir assim dim…