Resumo
O presente projeto trata do desenvolvimento de um software de simulação e visualização dos processos de microfabricação em substrato utilizados na fabricação de sistemas micro-eletro-mecânicos (MEMS). O objetivo é desenvolver uma ferramenta de software que nos auxilie no projeto e desenvolvimento de MEMS fabricados com esta técnica de microfabricação. Em função disso, nossa proposta é des…