Resumo
Este projeto tem por objetivo o estudo da construção de micro-estruturas mecânicas sobre uma pastilha de silício a partir de um ataque químico úmido sobre a superfície da mesma. Tais estruturas representam a base para o desenvolvimento de micro-sensores e micro-atuadores térmicos e mecânicos. Uma vez que elas são obtidas sobre uma pastilha de silício utilizando técnicas convencionais de f…