Resumo
Os filmes de nitretos de cátions metálicos, especialmente de titânio, zircônio, cromo e alumínio, têm demonstrado ser de grande interesse em aplicações onde são necessárias altas dureza superficial, resistências à corrosão e ao cisalhamento. As técnicas atualmente mais utilizadas para a obtenção destes filmes são deposições por CVD e PVD. A aderência dos filmes de TiN, ZrN, CrN e AIN tem …