CV Lattes
Universidade Estadual de Campinas (UNICAMP). Faculdade de Engenharia Elétrica e de Computação (FEEC) (Instituição Sede da última proposta de pesquisa) País de origem: Brasil
Possui mestrado em Ciências Físicas e Matemáticas pela Universidade Estatal de Moscou (1975) e doutorado em Engenharia Elétrica pela Universidade Estadual de Campinas (1983). Atualmente é professor titular da Universidade Estadual de Campinas. Tem experiência na área de Engenharia Elétrica, com ênfase em Materiais e Componentes Semicondutores, atuando principalmente nos seguintes temas: amorphous hydrogenated carbon, filmes finos, a-c:h, etching e holographic optical components. (Fonte: Currículo Lattes)
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Filmes de carbono amorfo hidrogenado têm tido grande interesse recentemente devido a suas propriedades de dureza e neutralidade química, além da facilidade de deposição por processos PECVD. Nosso grupo tem sido pioneiro no desenvolvimento de processos de micro litografia e aplicações destes filmes em óptica e microeletrônica. O objetivo deste projeto é o estudo e desenvolvimento do proces…
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