Resumo
O projeto proposto é uma contribuição para o desenvolvimento tecnológico da Micro e Nano eletrônica no Brasil, uma vez que pretende pesquisar dispositivos semicondutores avançados. Trata-se de estruturas de transistores promissoras de dimensões manométricas. Estruturas não planares, denominada de transistores Bulk, DTMOS e SOI de múltiplas portas (também chamados FinFET ou Transistor 3D),…