Resumo
O projeto consiste na conclusão do protótipo comercial de uma fonte de potência (300W), de corrente alternada (600 VAC), operando entre 10 a 40 kHz, responsável por iniciar e sustentar o campo elétrico utilizado para a geração do plasma. Esta fonte será utilizada para a deposição de filmes finos por meio da técnica de magnetron sputtering sendo uma alternativa à tecnologia em rádio frequê…