Resumo
O objetivo deste projeto é realizar a modelagem de Giroscópio do Sistema Micro-Eletro-Mecânico (MEMS) e também otimizar o desempenho desta modelagem, tendo como base os requisitos de projeto e de fabricação do sensor. Os requisitos serão levantados através de um estudo detalhado de sensores MEMS e sua ampla gama de aplicações, assim como dos processos de fabricação desses sensores. A vali…