Resumo
Este projeto prevê o desenvolvimento de uma microbalança de quartzo dedicada à medição da taxa de crescimento de filmes finos depositados pela técnica de PECVD (do inglês Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition). Para tanto, será desenvolvido um circuito oscilador baseado em cristais de quartzo comerciais, juntamente com um circuito comparador de sinal e um freqüencimetro. A calibração …