Resumo
Neste projeto propõe se a construção de um analisador de energia e a sua implementação em diagnóstico de plasma, em reatores destinados à produção de filmes finos e tratamento de superfícies via plasma. A cinética química do processo de polimerização é fortemente comandada pelo perfil da distribuição de energia dos elétrons, pois os processos de dissociação, fragmentação, ionização e exci…