Resumo
A otimização do processo CVD industrial passa pela definição de um reator escalonado e automatizado, com alto grau de confiabilidade e segurança. Para tanto, estamos trabalhando em uma interface que faça a integração dos dispositivos e transdutores do sistema com um microcontrolador. Com este sistema, esperamos controlar e monitorar todo o processo de deposição CVD via programa de comput…