Desenvolvimento de revestimentos protetivos por técnicas de plasma

Resumo

Carbono amorfo hidrogenado, a-C:H, é um material que possui aplicações em potencial devido às suas propriedades tais como bio e hemocompatibilidade, elevada dureza, baixo coeficiente de atrito, alta resistividade elétrica e transparência óptica. Entretanto, a sua utilização em processos práticos ainda é restrita devido ao descolamento precoce do filme, em virtude dos altos níveis de tensão interna. Vários estudos desenvolvidos nos últimos anos buscam diminuir os níveis de tensão interna para aumentar a durabilidade do material. Tais investigações demonstram entretanto que reduções suaves na tensão interna são acompanhadas por grandes diminuições na dureza. Portanto, a proposta do presente trabalho é a utilização de técnicas híbridas de deposição buscando-se não somente reduzir os níveis de tensão interna como também aumentar a adesão do filme ao substrato. Na etapa inicial do trabalho, esforços serão direcionados para a obtenção de camadas com propriedades mecânicas e tribológicas adequadas, analisando-se não somente as propriedades dos filmes como também dos plasmas. Compostos orgânicos, como o acetileno, o metano e o hexametildisiloxano assim como suas misturas com argônio, nitrogênio e flúor serão utilizados como precursores. Além da composição química, a pressão total dos gases e a potência de excitação da descarga serão variadas. Para agilizar o processo de análise, substratos planos tais como lâminas de vidro de microscópio, silício polido e placas metálicas, serão empregados. Em uma segunda etapa, será avaliado o efeito do processo de implantação iônica e deposição por imersão em plasmas, IIDIP nas propriedades físicas dos filmes resultantes. Neste caso, o processo de deposição será iniciado concomitantemente ao de bombardeamento iônico, produzindo recuo de espécies depositadas para o substrato... (AU)