| Processo: | 18/23538-0 |
| Modalidade de apoio: | Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado |
| Data de Início da vigência: | 01 de fevereiro de 2019 |
| Data de Término da vigência: | 31 de março de 2023 |
| Área de conhecimento: | Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos |
| Pesquisador responsável: | Gherhardt Ribatski |
| Beneficiário: | Valter Salles do Nascimento Junior |
| Instituição Sede: | Escola de Engenharia de São Carlos (EESC). Universidade de São Paulo (USP). São Carlos , SP, Brasil |
| Vinculado ao auxílio: | 16/09509-1 - Processos de transferência de calor com mudança de fase de elevado desempenho aplicados ao aproveitamento de energia solar, AP.TEM |
| Assunto(s): | Transferência de calor Ebulição convectiva Energia solar Microfabricação Corrosão por plasma |
| Palavra(s)-Chave do Pesquisador: | Corrosão por Plasma | Ebulição Convectiva | Energia Solar | Microfabricação | Transferência de Calor | Materiais e componentes semicondutores |
Resumo O projeto visa a proposição de um dispositivo de absorção de radiação/calor de elevado desempenho e estudar e desenvolver tecnologias de FABRICAÇÃO DOS MULTI-MICROCANAIS PARA O DESENVOLVIMENTO DE PROCESSOS DE TRANSFERÊNCIA DE CALOR DE ELEVADO DESEMPENHO COM MUDANÇA DE FASE APLICADOS AO APROVEITAMENTO DE ENERGIA SOLAR. Para isto serão usados processos de corrosão seca, que são de fundamental importância para obter microcanais com profundidades de dezenas de mícrons à centena de mícrons. Para fabricação de microcanais em substrato de Si neste projeto, será utilizado o processo de corrosão denominado BOSCH. Este processo permite a corrosão de silício em larga escala (bulk silicon etching) utilizando plasma de alta densidade produzido por acoplamento indutivo (ICP). Além disso, muitos processos de microfabicação em silício serão executados, tais como: deposições de metais e dielétricos, litografia e limpeza de substrato. | |
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