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A fabricação dos multi-microcanais para o desenvolvimento de processos de transferência de calor de elevado desempenho com mudança de fase aplicados ao aproveitamento de energia solar

Processo: 18/23538-0
Modalidade de apoio:Bolsas no Brasil - Pós-Doutorado
Vigência (Início): 01 de fevereiro de 2019
Vigência (Término): 31 de março de 2023
Área do conhecimento:Engenharias - Engenharia Elétrica - Materiais Elétricos
Pesquisador responsável:Gherhardt Ribatski
Beneficiário:Valter Salles do Nascimento Junior
Instituição Sede: Escola de Engenharia de São Carlos (EESC). Universidade de São Paulo (USP). São Carlos , SP, Brasil
Vinculado ao auxílio:16/09509-1 - Processos de transferência de calor com mudança de fase de elevado desempenho aplicados ao aproveitamento de energia solar, AP.TEM
Assunto(s):Transferência de calor   Ebulição convectiva   Energia solar   Microfabricação   Corrosão por plasma
Palavra(s)-Chave do Pesquisador:Corrosão por Plasma | Ebulição Convectiva | Energia Solar | Microfabricação | Transferência de Calor | Materiais e componentes semicondutores

Resumo

O projeto visa a proposição de um dispositivo de absorção de radiação/calor de elevado desempenho e estudar e desenvolver tecnologias de FABRICAÇÃO DOS MULTI-MICROCANAIS PARA O DESENVOLVIMENTO DE PROCESSOS DE TRANSFERÊNCIA DE CALOR DE ELEVADO DESEMPENHO COM MUDANÇA DE FASE APLICADOS AO APROVEITAMENTO DE ENERGIA SOLAR. Para isto serão usados processos de corrosão seca, que são de fundamental importância para obter microcanais com profundidades de dezenas de mícrons à centena de mícrons. Para fabricação de microcanais em substrato de Si neste projeto, será utilizado o processo de corrosão denominado BOSCH. Este processo permite a corrosão de silício em larga escala (bulk silicon etching) utilizando plasma de alta densidade produzido por acoplamento indutivo (ICP). Além disso, muitos processos de microfabicação em silício serão executados, tais como: deposições de metais e dielétricos, litografia e limpeza de substrato.

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Publicações científicas
(Referências obtidas automaticamente do Web of Science e do SciELO, por meio da informação sobre o financiamento pela FAPESP e o número do processo correspondente, incluída na publicação pelos autores)
MOREIRA, D. C.; NASCIMENTO, V. S.; RIBATSKI, G.; KANDLIKAR, S. G.. Combining liquid inertia and evaporation momentum forces to achieve flow boiling inversion and performance enhancement in asymmetric Dual V-groove microchannels. INTERNATIONAL JOURNAL OF HEAT AND MASS TRANSFER, v. 194, p. 14-pg., . (17/12576-5, 15/24834-3, 16/09509-1, 18/23538-0)
MOREIRA, D. C.; NASCIMENTO JR, V. S.; KANDLIKAR, S. G.; RIBATSKI, G.. Flow boiling of R1336mzz(Z) in tapered microgaps with asymmetric dual-V microchannels. APPLIED THERMAL ENGINEERING, v. 228, p. 15-pg., . (17/12576-5, 15/24834-3, 16/09509-1, 18/23538-0, 17/12309-7)

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