Sistema de correção de focalização para usinagem a laser de femtosegundos utilizando interferometria de baixa coerência.

Resumo

Projetamos um sistema de rastreamento de foco de laser (único) em tempo real usando propriedades de baixa coerência do próprio laser de femtosegundo de usinagem para monitorar e corrigir a posição da amostra em relação ao plano focal. Usando um interferômetro de Michelson, o sistema coleta dados provenientes de parte do feixe retroespalhado diretamente no ponto de ablação. Os dados são analisados por um software personalizado para correção de posição (através de um estágio de tradução automática XYZ). Com o rastreamento de foco ativado, conseguimos gravar canais com um perfil de seção transversal estável em um dente bovino com amplitude de alívio dezenas de vezes maior que o comprimento de Rayleigh do sistema, mantendo a amostra dentro do parâmetro confocal durante a maior parte do tempo de processamento. . Além disso, o sistema também é capaz de monitorar a evolução da profundidade da cratera durante o processo de ablação, permitindo a avaliação da remoção de material. (AU)