Reatores para crescimento de diamante-cvd a partir de compostos halogenados.

• Processo: 97/07128-8
• Modalidade de apoio: Auxílio à Pesquisa - Regular
• Data de Início da vigência: 01 de março de 1998
• Data de Término da vigência: 28 de fevereiro de 2001
• Área do conhecimento: Engenharias - Engenharia de Materiais e Metalúrgica - Materiais Não-metálicos
• Pesquisador responsável: Evaldo Jose Corat
• Beneficiário: Evaldo Jose Corat
• Instituição Sede: Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE). Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (Brasil). São José dos Campos , SP, Brasil
• Assunto(s): Diamante Micro-ondas
• Palavra(s)-Chave do Pesquisador: Diamante | Halogenicos | Microondas

Resumo

Este projeto trata do crescimento de diamante obtido por deposição química a partir da fase vapor (CVD, do inglês Chemical Vapor Deposition), com o uso intensivo de misturas de gases halogênios. O objetivo é o desenvolvimento de novos reatores capazes de operar com altas concentrações de compostos halogenados. Nossos experimentos mais recentes mostram as grandes vantagens de uso destes compostos no processo de crescimento de diamante. A necessidade de desenvolvimento destes novos reatores aparece naturalmente destes estudos, devido aos bons resultados já obtidos e a impossibilidade de progressão devido à inadequação dos sistemas de vácuo, e das características construtivas dos reatores atuais. Neste projeto propomos a construção de um novo reator assistido por plasma de microondas e a adaptação de um reator assistido por filamento quente, dando-lhes características construtivas adequadas ao uso de halogênios. (AU)